测量装置
公开
摘要
本发明提供测量装置，其能够高灵敏度地检测大范围的静电电容值。该测量装置包括：交流信号生成部，其以互不相同的频率生成N个(N为2以上的自然数)检测用交流信号；叠加部(4)，其将N个检测用交流信号叠加；乘法处理部(12a、12b)，其将叠加后的检测用交流信号输出给被测量对象物(7)，并将被施加检测用交流信号的被测量对象物输出的测量用交流信号分别乘以N个不同频率的检测用交流信号，从而获得N个同步检波信号；低通滤波处理部(13a、13b)，其对N个同步检波信号进行低通滤波处理，从而获得N个直流电压信号；以及静电电容测量部(15)，其测量与N个直流电压信号的电压值相应的静电电容值，将其作为所述被测量对象物的静电电容值。
基本信息
专利标题 ：
测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114545090A
申请号 ：
CN202111371615.1
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2021-11-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
西岛克俊
申请人 ：
日置电机株式会社
申请人地址 ：
日本长野县
代理机构 ：
北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郭红丽
优先权 ：
CN202111371615.1
主分类号 ：
G01R27/26
IPC分类号 ：
G01R27/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R27/00
测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置
G01R27/02
电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量
G01R27/26
电感或电容的测量；品质因数的测量，例如通过应用谐振法；损失因数的测量；介电常数的测量
法律状态
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
