本实用新型提供了一种高纯砷升华装置，所述升华装置包括冷却系统、加热系统、升华炉、沉积系统、抽真空系统；所述升华炉包括炉体、冷凝内胆和熔料室，所述熔料室设置在所述炉体底部，所述熔料室开口朝上，所述冷凝内胆开口朝下，所述冷凝内胆下端开口处与所述熔料室上端开口处可拆卸密封连接，所述冷凝内胆顶部开口并设置有与所述内胆顶部开口配合的内胆上盖，所述冷凝内胆和熔料室均设置于所述炉体内，所述炉体顶部通过管路与所述沉积系统连通，所述抽真空系统与所述沉积系统管路连通；所述加热系统的温度可调控。本实用新型的高纯砷升华装置还具有产能大、运行稳定、安全风险低、成本低，易于规模化生产、操作简单的优点。