一种高纯砷的装料模具及其修复方法
实质审查的生效
摘要

本发明属于高纯砷生产领域,公开了一种高纯砷的装料模具及其修复方法,所述装料模具置于氢化还原炉内,所述装料模具主体为石英管,所述氢化还原炉内设置结料区和补长区,所述石英管包括设置在结料区的结料区石英管和设置在补长区的补长区石英管,结料区石英管设置为锥度为0.8~2°的锥形管状结构,结料区石英管直径较小的端部连接补长区石英管,所述结料区石英管的内壁设置高纯砷层;本发明的高纯砷的装料模具可重复利用,降低了经济成本,使用该模具可避免因石英管划伤崩口导致的产品中引入硅杂质元素的风险。

基本信息
专利标题 :
一种高纯砷的装料模具及其修复方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114538756A
申请号 :
CN202210251083.6
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-03-15
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
曾小东徐成朱柏浩
申请人 :
广东先导微电子科技有限公司
申请人地址 :
广东省清远市高新区创兴三路16号A车间
代理机构 :
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 :
肖小龙
优先权 :
CN202210251083.6
主分类号 :
C03B20/00
IPC分类号 :
C03B20/00  C03B23/207  C03C15/00  C03C17/22  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C03
玻璃;矿棉或渣棉
C03B
玻璃、矿物或渣棉的制造、成型;玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺
C03B20/00
生产石英或熔凝硅石制品的专用方法
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C03B 20/00
申请日 : 20220315
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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