一种砷化镓芯片高砷高盐废水和含砷研磨废水综合处理方法
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摘要
本发明公开了一种砷化镓芯片高砷高盐废水和含砷研磨废水综合处理方法，目的在于解决砷化镓芯片的高砷高盐和含砷研磨废水的处理问题。该方法包括如下步骤：(1)高砷高盐废水结晶脱盐及单效蒸发预处理；(2)含砷研磨废水沉淀预处理；(3)综合废水除砷除磷除氟沉淀处理；(4)芬顿臭氧二级氧化及沉淀处理；(5)氨氮去除；(6)树脂吸附(7)污泥处理。本发明工艺合理，能够解决高砷高盐砷化镓芯片废水结晶堵塞、难沉淀的问题，消除高盐和研磨液超细悬浮物对树脂吸附的不利影响，保证处理后的废水达标排放，具有显著的经济价值、环境价值，对于促进半导体产生的发展，具有现实的意义。
基本信息
专利标题 ：
一种砷化镓芯片高砷高盐废水和含砷研磨废水综合处理方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN113716775A
申请号 ：
CN202111010917.6
公开（公告）日 ：
2021-11-30
申请日 ：
2021-08-31
授权号 ：
CN113716775B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
杨红梅孙冬向迎洪杨汉军黄文凤肖德龙刘世林黄莉蒲柳杨永见张伟才
申请人 ：
四川恒泰环境技术有限责任公司
申请人地址 ：
四川省绵阳市科创园区园艺街20号
代理机构 ：
成都为知盾专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
李汉强
优先权 ：
CN202111010917.6
主分类号 ：
C02F9/10
IPC分类号 ：
C02F9/10 C02F1/04 C02F1/52 C02F1/56 C02F1/66 C02F1/72 C02F1/78 C02F101/10 C02F101/14 C02F101/16
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C02
水、废水、污水或污泥的处理
C02F
水、废水、污水或污泥的处理
C02F9/00
水、废水或污水的多级处理
C02F9/08
至少有一个物理处理步骤
C02F9/10
热处理
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2021-12-17 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C02F 9/10
申请日 : 20210831
申请日 : 20210831
2021-11-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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