砷化镓芯片开封方法
实质审查的生效
摘要

本发明提供一种砷化镓芯片开封方法,属于芯片技术领域。该方法包括如下步骤:S1:打磨砷化镓芯片的目标开封区域至粗糙;S2:将混酸液滴在打磨粗糙的目标开封区域,加热砷化镓芯片使其处于目标温度,自所述目标开封区域发生反应产生棕红色水泡起计时,至反应第一预设时间止,清洗砷化镓芯片;S3:重复执行S2,直至肉眼可见砷化镓芯片表面;S4:将反应时间调整为第二预设时间,重复执行S2,直至所述目标开封区域不再发生反应,清洗砷化镓芯片后完成开封,得到暴露出砷化镓芯片表面电路的芯片。对目标开封区域进行打磨能够去除表面的氧化层及脏污,能够限制反应区域,实现局部开封,利用封装体保护砷化镓衬底,阻止酸液与砷化镓反应。

基本信息
专利标题 :
砷化镓芯片开封方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114325303A
申请号 :
CN202111405410.0
公开(公告)日 :
2022-04-12
申请日 :
2021-11-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵东艳王于波陈鹏陈燕宁董广智钟明琛宋彦斌单书珊林国栋李智诚
申请人 :
北京智芯微电子科技有限公司;北京芯可鉴科技有限公司;国网信息通信产业集团有限公司;国家电网有限公司;国网福建省电力有限公司电力科学研究院
申请人地址 :
北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼
代理机构 :
北京润平知识产权代理有限公司
代理人 :
李红
优先权 :
CN202111405410.0
主分类号 :
G01R31/28
IPC分类号 :
G01R31/28  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试,例如用信号故障寻测器
法律状态
2022-04-29 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 31/28
申请日 : 20211124
2022-04-12 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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