砷化镓单晶开管热处理装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种砷化镓单晶开管热处理装置，包括：惰性气体导入单元、石英帽、石英管、热扩散炉和尾气处理单元，其中，惰性气体导入单元与石英帽和石英管相连接，所述石英管放置于热扩散炉中，并与尾气处理单元连接。采用该装置对砷化镓晶体进行热处理，既保证晶体表面无氧化、无离解，又能释放晶体热应力和提高晶体电参数均匀性，达到节约成本和降低复杂度的目的。

基本信息

专利标题：

砷化镓单晶开管热处理装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820004700.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-01-25

授权号：

CN201172701Y

授权日：

2008-12-31

发明人：

周春锋杨连生刘晏凤

申请人：

中国电子科技集团公司第四十六研究所;天津晶明电子材料有限责任公司

申请人地址：

300220天津市河西区洞庭路26号

代理机构：

信息产业部电子专利中心

代理人：

梁军

优先权：

CN200820004700.8

主分类号：

C30B33/02

IPC分类号：

C30B33/02 C30B29/42