一种砷化镓单晶机械抛光设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开了晶片打磨技术领域的一种砷化镓单晶机械抛光设备，包括支撑机构，其特征在于：还包括有打磨机构、转换机构和夹手；所述夹手滑动安装在支撑机构上端，所述打磨机构安装在支撑机构中间位置，所述转换机构固定安装在支撑机构上，且分别与打磨机构和夹手连通；保证晶片能够正常加工的前提下，最大程度的防止了晶片在加工过程中遭到夹持力的破坏几率。
基本信息
专利标题 ：
一种砷化镓单晶机械抛光设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114346882A
申请号 ：
CN202210166849.0
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2022-02-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
袁永
申请人 ：
苏州诺富微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏虹西路99号第3幢A区601室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202210166849.0
主分类号 ：
B24B29/02
IPC分类号 ：
B24B29/02 B24B7/17 B24B7/22 B24B27/00 B24B41/00 B24B41/06 B24B47/00 B24B47/12 B24B47/20 B24B55/00 C30B29/42
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B29/00
有或没有使用固体或液体抛光剂并利用柔软材料或挠性材料制作的工具进行工件表面抛光的机床或装置
B24B29/02
适用于特殊工件的
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 29/02
申请日 : 20220223
申请日 : 20220223
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
