一种砷化镓单晶炉电气控制系统
授权
摘要

本实用新型公开了一种砷化镓单晶炉电气控制系统,包括中心控制部分、运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板,所述运动控制部分、气体控制部分、温度控制部分、水路检测部分和操作面板分别与所述中心控制部分相连,所述温度控制部分包括多流道温度调节器和加热器;其中,所述多流道温度调节器内部含有输出压力不同的若干条水流通道。有益效果在于:通过采用多流道温度调节器,可通过控制水流通过不同的流道,控制水流的流速,从而对应不同的升温速度,控制操作简单;通过多流道温度控制器,可在需要不同升温速度时,开启对应的流道,可防止增压设备常开,更加节能。

基本信息
专利标题 :
一种砷化镓单晶炉电气控制系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920807111.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-31
授权号 :
CN209765308U
授权日 :
2019-12-10
发明人 :
代晓波
申请人 :
独山中科晶元信息材料有限公司
申请人地址 :
贵州省黔南布依族苗族自治州独山县麻万镇麻抹组独山中科晶元
代理机构 :
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 :
谈杰
优先权 :
CN201920807111.1
主分类号 :
G05B19/042
IPC分类号 :
G05B19/042  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制;调节
G05B
一般的控制或调节系统;这种系统的功能单元;用于这种系统或单元的监视或测试装置
G05B19/00
程序控制系统
G05B19/02
电的
G05B19/04
除数字控制外的程序控制,即顺序控制器或逻辑控制器
G05B19/042
使用数字处理装置
法律状态
2019-12-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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