本实用新型公开了一种生长砷化镓单晶的抽真空装置，包括抽真空系统、加热系统和容器支撑系统。加热系统包括加热器和加热器升降装置，加热器升降装置由涡轮、导轨和升降手轮组成；容器支撑系统由底座、固紧螺钉、轴承座、滚动轴承、旋转手轮、支撑杆和支撑托组成，旋转手轮和滚动轴承配合固定在轴承座上，轴承座通过固紧螺钉固定在底座上，旋转手轮用于带动整个容器支撑系统旋转，支撑杆垂直固定在旋转手轮上，支撑杆穿过加热器底部的孔，支撑托固定在支撑杆上，用于放置待抽真空的容器。采用这种改造结构的抽真空装置后，在砷化镓单晶生长工艺中可提供加热处理，能有效去除真空容器内的气态杂质，同时还可以提高密封容器的真空度。在多温区电阻丝加热器的内壁增设马弗管后，可以提高加热器内部热场的均匀性，使得加热效果更好。