一种石墨热场改造的新型石墨坩埚

授权

摘要

本实用新型公开了一种石墨热场改造的新型石墨坩埚，包括加工炉、碳碳坩埚、石英坩埚和中空钢管，所述加工炉的内部固定有隔板，所述隔板的上方固定有支架，所述支架的上端放置碳碳坩埚，所述碳碳坩埚的内侧放置有石英坩埚，所述加工炉的上方卡接有炉盖，所述炉盖内侧的中心点贯穿固定有套管，所述套管的内侧套接有中空钢管，所述中空钢管底端的一侧焊接有第一气管，所述中空钢管底端的另一侧焊接有第二气管，所述中空钢管的顶端通过输气管与空压机固定连接。本实用新型通过设置碳碳坩埚、石英坩埚、空压机、中空钢管、第一气管、第二气管，解决了石墨坩埚的产能低，空间小、成本高和坩埚工作时需要频繁的开炉清灰的问题。

基本信息

专利标题：

一种石墨热场改造的新型石墨坩埚

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921764970.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-03

授权号：

CN211620662U

授权日：

2020-10-02

发明人：

方汉春许寅

申请人：

浙江矽盛电子有限公司

申请人地址：

浙江省衢州市开化县工业园区银辉路８号

代理机构：

浙江翔隆专利事务所(普通合伙)

代理人：

周培培

优先权：

CN201921764970.3

主分类号：

C30B15/10

IPC分类号：

C30B15/10