本实用新型提出了一种利用气体的精密仪器清洗装置，包括清洗室，所述清洗室内设置有毛刷组件，所述毛刷组件顶端连接有伸缩杆，所述毛刷组件下方设置有用于承载零部件的旋转台，所述清洗室连接于气体循环系统中，所述气体循环系统包括液化储罐、净化罐、循环泵和气体液化罐，所述液化储罐、净化罐、循环泵和气体液化罐依次串联，所述气体液化罐连接有压缩机，且所述气体液化罐通过管道与清洗室入口相连通，并于清洗室入口处设置喷嘴，清洗室出口处连接有分离罐，所述分离罐通过管道与所述净化罐相连通。本实用新型实现了气体循环利用，同时实现了精密仪器的无水高效清洗，还具有流程短、成本低等优点。