清洗单元及其气体检测装置
授权
摘要
本实用新型提供一种清洗单元及其气体检测装置。本实用新型提供的气体检测装置，包括取样管和检测设备，取样管为L形管，L形管包括垂直于待测气管的轴向设置的进气管和平行于待测气管的轴向设置的出气管，出气管的入口端与进气管的出口端连通，出气管的出口端连通所述检测设备；进气管的入口端插入待测气管内，出气管与检测设备连通，进气管内设有导流件，导流件沿进气管的延伸方向设置，有效地避免了进气管内的蒸汽凝结在进气管的内壁上而无法顺利地流出至待测气管内的情况发生，防止了因蒸汽凝结在取样管内并堵塞取样管，使取样管内的压力超过压力报警阈值而导致设备异常报警，造成清洗单元的设备宕机及基板报废的情况发生。
基本信息
专利标题 ：
清洗单元及其气体检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922338075.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-23
授权号 ：
CN211437377U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
张雷邵博蒋雷慕绍帅谢超黄学勇段乐乐
申请人 ：
成都中电熊猫显示科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
车晓军
优先权 ：
CN201922338075.1
主分类号 ：
B08B11/04
IPC分类号 ：
B08B11/04 G01N1/22 G01L19/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B11/00
专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置
B08B11/04
专门用于平板玻璃的，如加工挡风玻璃前用的
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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