一种碳化硅生产设备
授权
摘要
本实用新型涉及半导体材料SiC的生产设备技术领域，公开了一种碳化硅生产设备，包括：炉体，炉体内设有用于放置坩埚的容置空间；套设于炉体外周侧的加热线圈；与加热线圈连接、且用于驱动加热线圈沿其中心轴线的延伸方向动作的驱动装置。该碳化硅生产设备中，加热线圈在驱动装置的驱动下可以在炉体外周侧上下移动，并对炉体进行加热，使炉体内的碳化硅在长晶过程中在竖直方向形成更好的温度梯度，有利于提高成晶率，提高晶体品质。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅生产设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921791855.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-23
授权号 ：
CN211545965U
授权日 ：
2020-09-22
发明人 ：
袁静靳秋诚夏树胜
申请人 ：
北京京运通科技股份有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号
代理机构 ：
北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
马运刚
优先权 ：
CN201921791855.5
主分类号 ：
C01B32/956
IPC分类号 ：
C01B32/956 C01B33/021 C30B28/06 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B32/00
碳；其化合物
C01B32/90
碳化物
C01B32/914
单一元素碳化物
C01B32/956
碳化硅
法律状态
2020-09-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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