一种条纹状结构的电热式扭转驱动器

实用新型专利更正

摘要

一种条纹状结构的电热式扭转驱动器1，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1的一端连接固定端2，另一端连接可动单元3，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜构成，分别为上层薄膜1-1和下层薄膜1-2，其中上层薄膜1-1包含两个或两个以上的带状结构，该带状结构间隔排列在下层薄膜1-2上，带状结构与其下部的下层薄膜1-2组成扭转单元4，每个扭转单元4的中心线4-1可为直线或曲线并与固定端2的端面形成倾斜角，当该条纹状结构的电热式扭转驱动器1温度变化时，该条纹状结构的电热式扭转驱动器1产生扭转，从而带动可动单元3转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。

基本信息

专利标题：

一种条纹状结构的电热式扭转驱动器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921836877.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-29

授权号：

CN211896029U9

授权日：

2020-12-25

发明人：

王鹏黄兆兴谢会开

申请人：

无锡微奥科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼302室

代理机构：

无锡市朗高知识产权代理有限公司

代理人：

赵华

优先权：

CN201921836877.9

主分类号：

B81B3/00

IPC分类号：

B81B3/00 B81B7/02