一种电热式MEMS扭转驱动器
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摘要
一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于该电热式MEMS扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜结构，该电热式MEMS扭转驱动器一端固定，另一端连接可动单元2，该电热式MEMS扭转驱动器中心线3不与固定端面垂直，且中心线3的斜率没有拐点，当电热式MEMS扭转驱动器1温度升高时，电热式MEMS扭转驱动器1绕x轴方向转动，从而带动可动单元2转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种电热式MEMS扭转驱动器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921838921.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-29
授权号 ：
CN212450611U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
王鹏黄兆兴谢会开
申请人 ：
无锡微奥科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园C栋辅楼302室
代理机构 ：
无锡市朗高知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵华
优先权 ：
CN201921838921.X
主分类号 ：
B81B3/00
IPC分类号 ：
B81B3/00 B81B7/02
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81B
微观结构的装置或系统，例如微观机械装置
B81B3/00
由柔性或可变形的元件组成的装置，例如由弹性舌或膜片组成
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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