一种表面缺陷检测装置
授权
摘要
一种表面缺陷检测装置，包括：遮光罩，侧面设置有观察口；照明装置，设置于遮光罩内部，照明装置靠近遮光罩的顶部，以使照明装置由上至下照射。采用这种表面缺陷检测装置遮光罩，照明设备发射的光线能够沿检测物表面平行方向射入，更容易发现检测物表面的缺陷。
基本信息
专利标题 ：
一种表面缺陷检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921862649.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN211292539U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
何军舫
申请人 ：
北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（天津）半导体材料有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区工业开发区
代理机构 ：
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
郑久兴
优先权 ：
CN201921862649.9
主分类号 ：
G01N21/01
IPC分类号 ：
G01N21/01 G01N21/95
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/01
便于进行光学测试的装置或仪器
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211292539U.PDF
PDF下载
