一种晶圆存放盒清洗机构
授权
摘要
本申请涉及一种晶圆存放盒清洗机构，喷管设置在旋转架的内部和外部，以使清洗液或者水能够从两侧向清洗架喷洒，同时清洗架能够旋转，旋转的清洗架能够使晶圆充分地接收喷管喷出的清洗液或者气体，使得对晶圆的清洗更加充分干净。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆存放盒清洗机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921870932.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-01
授权号 ：
CN210575861U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
钱诚李刚童建
申请人 ：
江苏亚电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921870932.6
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 B08B3/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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