一种清洗液供给装置
授权
摘要
本实用新型提供一种清洗液供给装置。本实用新型提供的清洗液供给装置，包括原液储液罐、第一储液罐和第二储液罐，原液储液罐和第一储液罐之间连通，第一储液罐和第二储液罐之间连通；其中，原液储液罐用于储存清洗原液，清洗原液进入第一储液罐且在第一储液罐内按预设配比形成清洗液，清洗液进入第二储液罐，且第二储液罐用于将清洗液输送至基板清洗腔室以对基板进行清洗。本实用新型的清洗液供给装置能够降低清洗液的消耗量，且可提高基板的清洗效率。
基本信息
专利标题 ：
一种清洗液供给装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922339782.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-24
授权号 ：
CN211437167U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
刘闽李广圣川村昌宏叶宁张勇史海洋李望吴义
申请人 ：
成都中电熊猫显示科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄溪
优先权 ：
CN201922339782.2
主分类号 ：
B08B3/00
IPC分类号 ：
B08B3/00 B08B13/00 H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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