一种硅片研磨机磨盘的拆卸安装工装
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

一种硅片研磨机磨盘的拆卸安装工装,涉及半导体材料技术领域,包括均匀分布于磨盘表面四周的4个长方体的吊装板和4个与吊装板配合固定的L型的固定板,每个长方体吊装板的表面开设有2个锁紧螺丝孔,长方体吊装板的侧面开设有联接丝孔,所述固定板上开设一个与联接丝孔配合固定的联接孔。本实用新型有益效果:本实用新型结构简单、设计合理、加工工艺简单、成本低、操作方便、安全可靠,利用磨片机本身的结构和功能与本实用新型结合实现磨盘的拆卸安装功能,并克服了拆装困难的问题,大大地节省更换磨盘时间、降低了生产成本,提高了设备产能。

基本信息
专利标题 :
一种硅片研磨机磨盘的拆卸安装工装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921881877.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-04
授权号 :
CN211278001U
授权日 :
2020-08-18
发明人 :
郭栋梁董开纪王军
申请人 :
麦斯克电子材料有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
代理机构 :
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人 :
陈佳丽
优先权 :
CN201921881877.0
主分类号 :
B24B45/00
IPC分类号 :
B24B45/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B45/00
在旋转轴上固定砂轮的装置
法律状态
2020-11-03 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B24B 45/00
变更事项 : 专利权人
变更前 : 麦斯克电子材料有限公司
变更后 : 麦斯克电子材料股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
变更后 : 471000 河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
2020-08-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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