一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构
授权
摘要
本实用新型公开一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构,用于进行单晶炉热场侧部保温装置与顶部保温装置的定位连接,侧部保温装置顶部设置有定位台阶,定位台阶上放置支撑环,支撑环上放置顶部保温装置,定位台阶上设置有定位槽,定位槽为贴合定位台阶外侧面设置的圆环形槽,支撑环为圆环结构,支撑环下侧面外圈对应定位槽设置有定位凸起,支撑环上表面设置有凹槽,顶部保温装置下部对应凹槽设置有突起与支撑环上表面凹槽进行接触定位,支撑环上下表面内侧端部均进行倒圆处理。本申请更改支撑环定位结构,保证石墨碎屑不会落入单晶炉中,同时在石墨支撑环内侧尖锐转角位置设置直径较大的倒圆,避免热应力引起的石墨脱落。
基本信息
专利标题 :
一种用于18寸单晶炉热场的顶部保温支撑环定位结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921884778.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-04
授权号 :
CN210796697U
授权日 :
2020-06-19
发明人 :
王鹏陶飞
申请人 :
扬州合晶科技有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市经济技术开发区马泊河路6号
代理机构 :
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 :
刘红阳
优先权 :
CN201921884778.8
主分类号 :
C30B29/06
IPC分类号 :
C30B29/06 C30B11/00 C30B15/00
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/06
硅
法律状态
2020-06-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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