本实用新型公开了一种可实现精确行程的真空室上盖提升机构，包括升降底座，所述挤压支板的下端固定连接在升降底座的上端，所述升降底座的下端固定连接有气缸，所述气缸的输出轴贯穿升降底座并活动连接有线性导向轴，所述线性导向轴的外表面中部固定连接有提升装置，所述线性导向轴的外表面上部和中部均固定连接有固定座，所述固定座的左端均设置有移动限位机构。本实用新型所述的一种可实现精确行程的真空室上盖提升机构，经过气缸输出杆伸出时，球头带动线性导向轴通过直线轴承向上移动，从而达到对真空室上盖的提升行程精确控制，同时采用的是气缸驱动，很大程度的减小了在移动过程中的震动情况，使真空室上盖在移动的过程中保持平稳。