一种伸缩式检测镀膜厚度的装置

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摘要

本实用新型公开了一种伸缩式检测镀膜厚度的装置，包括气缸、连接杆、晶振片撑杆和基座；所述晶振片撑杆的一端设有晶振片，所述晶振片撑杆通过自身伸缩控制晶振片的伸缩，所述晶振片置于晶振片包裹盒内，当晶振片伸出时，晶振片露出包裹盒，当晶振片收缩时，晶振片收回包裹盒；所述晶振片撑杆的另一端与连接杆固定相连，所述连接杆由安装在基座上的气缸控制，可带动晶振片撑杆伸缩运动；本装置的优点在于在晶振片不工作时将晶振片收纳，在晶振片工作时移出，同时为镀膜厚度检测提供良好的真空环境。

基本信息

专利标题：

一种伸缩式检测镀膜厚度的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921908095.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-07

授权号：

CN211346625U

授权日：

2020-08-25

发明人：

马树全黎微明左敏

申请人：

江苏微导纳米科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区漓江路11号

代理机构：

南京知识律师事务所

代理人：

李湘群

优先权：

CN201921908095.1

主分类号：

G01B5/06

IPC分类号：

G01B5/06 G01B5/00