一种研磨液供给系统
授权
摘要
本实用新型提供一种研磨液供给系统，包括：主管路，所述主管路的第一端连接研磨液供给端，所述主管路的第二端连接研磨液输出端；设置于所述主管路上用于控制所述主管路通断的气动阀；气体供给管路，所述气体供给管路的第一端与供气端连接，所述气体供给管路的第二端与所述气动阀的进气端连接，用于向所述气动阀提供压缩空气；设置于所述气体供给管路上用于控制所述气体供给管路通断的电磁阀；液体泄漏检测装置，设置于所述气动阀和所述电磁阀之间且与所述气体供给管路连接，用于检测所述气动阀是否发生泄漏。根据本实用新型实施例的研磨液供给系统，可以自动检测气动阀是否发生泄漏，避免研磨液损坏电磁阀、污染气体供给管路。
基本信息
专利标题 ：
一种研磨液供给系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921910666.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-07
授权号 ：
CN211073205U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
任少军
申请人 ：
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
代理机构 ：
北京银龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
许静
优先权 ：
CN201921910666.5
主分类号 ：
B24B57/02
IPC分类号 ：
B24B57/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
B24B57/02
流体的，喷射的，雾化的或液化的磨削剂，抛光剂，或研磨剂的送进
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
