槽式设备及其风道结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种槽式设备及其风道结构。其中所述槽式设备包含至少2个处理槽，所述槽式设备的风道结构包括分别设置在每一个处理槽两端的进风装置和出风装置，对所述出风装置进行抽风使每一个处理槽的进风装置和出风装置之间形成独立风道的抽风装置。本实用新型可以防止设备内多个处理槽之间的有害气体相互反应，同时也防止有害气体溢出对设备或人体造成损害。
基本信息
专利标题 ：
槽式设备及其风道结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921956590.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-13
授权号 ：
CN210628256U
授权日 ：
2020-05-26
发明人 ：
左国军王靖郑重一
申请人 ：
常州捷佳创精密机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
代理机构 ：
深圳市康弘知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹彦
优先权 ：
CN201921956590.X
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-05-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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