可移动式快速高真空抽气系统

授权

摘要

本实用新型属于真空密封技术，具体涉及一种可移动式快速高真空抽气系统，包括真空室，以及与真空室连接的分子泵上，还包括机械泵，所述的机械泵与所述的真空室的侧面抽气管道通过波纹管连接，所述的真空室顶部设有连接管路；所述的侧面抽气管道上设有真空室隔离阀门，所述的真空室的顶部设有真空室放气阀。为了满足快速高真空条件，设计安装了包括机械泵、波纹管、分子泵及管道控制阀门在内的真空系统；在真空室及抽气管道设置有阀门机构，包括放气阀、粗抽阀和真空室隔离阀，可以分别实现真空室的充气、预抽气和协同抽气功能。

基本信息

专利标题：

可移动式快速高真空抽气系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922002725.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-19

授权号：

CN211314478U

授权日：

2020-08-21

发明人：

杨爽谌继明郑鹏飞付海英王平怀张立文

申请人：

核工业西南物理研究院

申请人地址：

四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号

代理机构：

核工业专利中心

代理人：

高安娜

优先权：

CN201922002725.5

主分类号：

F04B37/14

IPC分类号：

F04B37/14 F04B41/06 F04B39/00 F04B49/22 F04D19/04 B65B31/02