一种氮化硅陶瓷基片多方向研磨抛光机
授权
摘要
本实用新型涉及研磨抛光机，具体涉及一种氮化硅陶瓷基片多方向研磨抛光机，包括底座，底座为方体结构，底座上设有抛光槽，抛光槽包括抛光槽环和抛光槽底盘，抛光槽底盘上端表面设有第一研磨纹路，抛光槽环侧壁内侧环绕连续性设有竖直方向的第一齿槽；抛光槽中部设有动力圆盘，动力圆盘为圆柱形结构，动力圆盘外侧面环绕连续性设有竖直方向的第二齿槽；抛光槽内设有复数个研磨盘，研磨盘为圆盘形结构，研磨盘边缘环绕连续性设有竖直方向的第三齿槽，研磨盘直径方向一端与第一齿槽啮合，研磨盘直径方向另一端与第二齿槽啮合；本实用新型其研磨抛光度高，能同时在多个方向同时对陶瓷基片进行精度研磨抛光，同时，具有高速的抛光速度。
基本信息
专利标题 ：
一种氮化硅陶瓷基片多方向研磨抛光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922014145.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-20
授权号 ：
CN210879179U
授权日 ：
2020-06-30
发明人 ：
黄安基
申请人 ：
福建省南安市宏炜新材料有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市南安市罗东镇新雨亭东街
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922014145.8
主分类号 ：
B24B37/11
IPC分类号 ：
B24B37/11 B24B37/27 B24B37/34 B24B55/03
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/11
研具
法律状态
2020-06-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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