一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置
授权
摘要
本实用新型公开的属于机械设备配件技术领域，具体为一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，包括弧形管、第一管道和弯管，所述弧形管的右侧壁固定连接所述第一管道，所述第一管道的左侧壁贯穿所述弧形管的内腔右侧壁后与所述弯管的右侧壁螺纹连接，该种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置，将装置用真空卡箍与管道密封连接，打开手动阀，足够压力的压缩空气可以将真空管道内的粉尘顺利地吹向燃烧桶，配合弯管，使吹风过程沿内壁弧形上升，可把底部沉积的粉尘同步清理，避免堆积，避免人工清理粉尘的人力消耗和粉尘污染问题，为真空泵提供了良好的抽风的环境，增加真空泵尾排抽风量，延长其使用寿命，减少大笔维修成本。
基本信息
专利标题 ：
一种管式PECVD真空泵尾排吹扫T型装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922030084.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-22
授权号 ：
CN210765503U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
冯林李权张军
申请人 ：
湖北天合光能有限公司
申请人地址 ：
湖北省仙桃市桃花岭大道中段28号
代理机构 ：
北京天奇智新知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨文录
优先权 ：
CN201922030084.4
主分类号 ：
C23C16/513
IPC分类号 ：
C23C16/513
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
C23C16/513
采用等离子流
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
