一种PECVD真空泵管道吹扫装置
授权
摘要
本发明提供一种PECVD真空泵管道吹扫装置，其特征在于：包括变径三通、卡箍和封板，所述变径三通的两端开口口径尺寸不同，所述卡箍分别将封板卡扣在所述变径三通的两端开口上；所述变径三通侧壁上的开口通过阀门与进气软管连接。使用该吹扫装置可直接外接到管道，对管道内的沉积进行吹扫，给公司节约巨大成本；而且该吹扫装置可适配于多种规格的管道，通用、快捷性强。
基本信息
专利标题 ：
一种PECVD真空泵管道吹扫装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021035928.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-08
授权号 ：
CN212451633U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
顾明强
申请人 ：
江苏润阳光伏科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市建湖县经济开发区北京路1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021035928.0
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 C23C16/44 C23C16/40
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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