真空泵的分析装置、真空泵及存储介质
公开
摘要
本发明提供一种真空泵的分析装置、真空泵及存储介质，可精度良好、且有效率地提供与堆积到真空泵的堆积物相关的信息。真空泵的分析装置对在内部进行对于对象物的工艺的真空容器进行排气，且所述真空泵的分析装置包括信息生成部，所述信息生成部基于工艺的至少一部分期间中与真空泵的转子的旋转驱动有关的物理量的累计值，生成与真空泵的由堆积物引起的负荷相关的信息。
基本信息
专利标题 ：
真空泵的分析装置、真空泵及存储介质
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114623066A
申请号 ：
CN202111225587.2
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2021-10-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
广田圣典
申请人 ：
株式会社岛津制作所
申请人地址 ：
日本京都府京都市中京区西之京桑原町1番地
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
薛恒
优先权 ：
CN202111225587.2
主分类号 ：
F04B37/14
IPC分类号 ：
F04B37/14 F04B51/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/10
用于特殊用途
F04B37/14
获得高真空
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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