本发明属于物质检测技术领域，公开了一种样品分析方法、装置、设备及存储介质。该方法包括：根据获取到的X射线光电子能谱图确定目标元素对应的相对原子百分含量；根据相对原子百分含量确定目标元素对应的综合灵敏度因子；根据获取到的反射电子能量损失谱图确定目标元素的非弹性损失峰总面积和氢元素的弹性损失峰面积；基于目标元素的综合灵敏度因子、该非弹性损失峰总面积、氢元素的灵敏度因子以及该弹性损失峰面积确定待测试样品对应的氢元素含量；根据氢元素含量对待测试样品进行样品分析。通过上述方式，利用XPS谱图和REELS谱图结合分析，准确测定待测试样品中的氢元素含量，进一步提升了聚合物薄膜材料的性能分析结果的准确性。