具有轨道式过渡舱的离子液体电镀装置
授权
摘要
本申请公开了一种具有轨道式过渡舱的离子液体电镀装置，包括两个或多个密封箱体、过渡舱、充气装置和真空泵，过渡舱位于前后两个相邻的密封箱体之间，过渡舱与密封箱体密封固定连接，过渡舱设置有轨道，轨道车和舱门；过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接，相邻密封箱体之间的电镀工件通过过渡舱的轨道车进行相邻密封箱体之间的过渡转移，过渡舱内设置有舱内轨道，过渡舱外设置有舱外轨道，舱内轨道或舱外轨道上放置轨道车。本实用新型利用渡舱实现在保持密封箱体之间的气氛互不影响的同时，减小了工件转移过程中的抽气量和补气量，进而加快了生产效率、减少了废气排放、降低了补气成本。
基本信息
专利标题 ：
具有轨道式过渡舱的离子液体电镀装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922041295.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-24
授权号 ：
CN211142197U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
张奕志凌国平王宏涛
申请人 ：
浙江大学
申请人地址 ：
浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
代理机构 ：
浙江杭州金通专利事务所有限公司
代理人 ：
徐关寿
优先权 ：
CN201922041295.8
主分类号 ：
C25D3/66
IPC分类号 ：
C25D3/66 C25D19/00 C25D17/00 C25D5/48
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C25
电解或电泳工艺；其所用设备
C25D
覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸；工件的电解法接合；所用的装置
C25D3/00
电镀；其所用的镀液
C25D3/66
熔融液
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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