本实用新型涉及一种三乙基硅烷生产废水用净化装置，包括储料槽，其特征在于：还包括第一处理单元，第一处理单元包括反应桶，反应桶上开设有第一进液口、第一出液口和若干第一进料口，第一进液口与储料槽连通，第一进料口开设于反应桶上端面，第一进料口上安装有投料器，投料器包括投料桶，投料桶体的开口朝向第一进料口，投料桶体与第一进料口固定连接，投料桶体的桶底固定连接有液压杆，液压杆的输出端固定连接有延长杆，延长杆远离第一密封片的一端固定连接有投料槽，投料槽内部设有放料腔，投料槽上开设有第一放料口，第一放料口上设有启闭门。本实用新型提供了一种反应原料置换更方便、操作更简单的三乙基硅烷生产废水用净化装置。