本实用新型涉及一种三乙基硅烷生产用过滤装置，包括过滤通道，所述过滤通道内部安装有用于过滤粉料的过滤网；其特征在于：所述过滤通道上设置有缓冲管道，所述缓冲管道的一端与过滤通道螺纹连接；所述缓冲管道内安装有用于减小滤液对过滤网的冲击力的缓冲组件；该缓冲组件包括转轴、安装架、缓冲板以及安装在缓冲板边缘两侧的倾斜阻力板以及用于限制安装架在转轴上的转动行程的限位件；所述转轴的两端固定安装在缓冲管道的内壁上，所述安装架安装在转轴上且与转轴转动连接；所述缓冲板固定安装在安装架背离转轴的一端面上；所述限位件固定安装在安装架底部的转轴上。本实用新型实用性强，易于推广。