一种芯粒测试装置
授权
摘要
本实用新型属于半导体测试领域，尤其涉及一种芯粒测试装置，包括载盘、真空机构、积分球、寻边器、点测针、遮蔽机构、加热机构、加湿机构、感测机构和控制器，所述载盘设置有真空吸孔，加热机构设置于真空吸孔中，真空机构对真空吸孔抽真空；积分球、寻边器和加湿机构均设置于载盘的上方；点测针与寻边器连接；遮蔽机构设置于积分球的下端；感测机构设置于遮蔽机构的外侧；控制器控制整个测试装置的运行。本实用新型能提供可控的温湿度环境，对芯粒进行的光电参数检验及其快速老化检测。
基本信息
专利标题 ：
一种芯粒测试装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922132154.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-03
授权号 ：
CN211478536U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
蔡家豪滕兰张家豪
申请人 ：
安徽三安光电有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922132154.7
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 G01J1/42 G01J1/04 G01N17/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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