本发明涉及研磨抛光技术领域，尤其涉及一种斜面研磨抛光用工装夹具，包括夹具本体，其特征是：夹具本体下端设有豁口槽，豁口槽的至少一侧为倾斜向下的贴合面，贴合面顶部固定有顶部挡板。还涉及一种斜面研磨抛光用工装系统，其特征是，包括上述工装夹具、研磨机，研磨机包括下研盘和游星轮，下研盘上套接带动其转动的中心轴；中心轴上套接可自由转动的内齿圈，下研盘上侧设有外齿圈；游星轮设于下研盘上且分别与内齿圈和外齿圈啮合；夹具本体固定在游星轮单元腔内。通过此夹具固定待加工基片，实现基片斜面的研磨、抛光，既解决因压力过大产生的侧面角破损现象，又保证加工时侧面的稳定性，提高斜面研抛产品良率，结构简单、操作方便。