一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器

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摘要

本实用新型属于自动控制技术和电力电子技术领域，具体涉及一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器。当电源输出高频脉冲时，该电弧检测器通过不断采样电源输出脉冲占空比内的电感电流值，并计算出电感电流变化斜率，这样在电弧产生的初期，电弧电流开始爬升，该控制器就已侦测到电弧，然后迅速的关断电源的输出能量，减小电弧能量。由于该电弧检测器采用直接采样电感电流并快速计算电流变化率的方法，能在电弧电流爬升的初期检测到电弧的发生，能更快的关断电源输出，从而能更有效的抑制住电弧能量并灭掉电弧，提高了镀膜质量、产品成品率和生产效率。

基本信息

专利标题：

一种真空镀膜脉冲偏压膜电源的电弧检测器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922162633.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-05

授权号：

CN211734466U

授权日：

2020-10-23

发明人：

李民久陈庆川蒲世豪贺岩斌姜亚南熊涛黄雨邵斌

申请人：

核工业西南物理研究院;成都同创材料表面科技有限公司

申请人地址：

四川省成都市双流西南航空港黄荆路5号

代理机构：

核工业专利中心

代理人：

高安娜

优先权：

CN201922162633.3

主分类号：

C23C14/54

IPC分类号：

C23C14/54