运行脉冲式电弧源的方法

发明专利申请公布后的驳回

摘要

本发明涉及运行脉冲式电弧源的方法。公开了一种用于沉积绝缘层的电弧方法以及用于低温涂层的电弧方法，其中引起或运行在电弧源的靶表面上的电火花放电，其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电。此外本发明还涉及一种电弧源，其中靶与供电单元连接，该供电单元或者是至少一个第一脉冲式高电流电源18，18’以及另一个电源13’，18”，或者是用开关网络分配技术实施的电源21，21’，22。

基本信息

专利标题：

运行脉冲式电弧源的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN104201082A

申请号：

CN201410309313.5

公开（公告）日：

2014-12-10

申请日：

2006-03-01

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

J.拉姆O.格斯托尔B.威德里格D.伦迪

申请人：

奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）

申请人地址：

瑞士特吕巴赫

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

卢江

优先权：

CN201410309313.5

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32 C23C14/32

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J37/00

有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的

H01J37/32

充气放电管

法律状态

2020-11-06 ：

发明专利申请公布后的驳回

IPC(主分类) : H01J 37/32
申请公布日 : 20141210

2016-11-16 ：

著录事项变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101741689083
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2014103093135
变更事项 : 申请人
变更前 : 奥尔利康贸易股份公司(特吕巴赫)
变更后 : 欧瑞康表面解决方案股份公司,特吕巴赫
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士特吕巴赫

2016-11-16 ：

著录事项变更

号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101741689084
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2014103093135
变更事项 : 申请人
变更前 : 欧瑞康表面解决方案股份公司,特吕巴赫
变更后 : 欧瑞康表面解决方案股份公司,普费菲孔
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士普费菲孔

2015-01-07 ：

实质审查的生效

号牌文件类型代码 : 1604
号牌文件序号 : 101594575173
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2014103093135
申请日 : 20060301

2014-12-10 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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