运行脉冲式电弧蒸发源的方法以及具有脉冲式电弧蒸发源的真空...
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摘要
本发明涉及一种用于对工件(3)进行表面处理的真空处理设备，具有一个电弧蒸发源(5)，所述电弧蒸发源包含与一个DC电源(13)连接的第一电极(5`)，还具有与所述电弧蒸发源(5)分开安放的第二电极(3、18、20)。这两个电极(5`、3、18、20)都与一个脉冲电源(16)连接地运行。
基本信息
专利标题 ：
运行脉冲式电弧蒸发源的方法以及具有脉冲式电弧蒸发源的真空处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101151701A
申请号 ：
CN200680009516.6
公开（公告）日 ：
2008-03-26
申请日 ：
2006-03-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·拉姆B·维德里格D·伦迪V·德弗林杰A·雷特
申请人 ：
奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）
申请人地址 ：
瑞士特吕巴赫
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
卢江
优先权 ：
CN200680009516.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01J37/34 C23C14/32
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2021-06-08 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01J 37/32
变更事项 : 专利权人
变更前 : 欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔
变更后 : 欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔
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变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士普费菲孔
2021-05-28 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01J 37/32
变更事项 : 专利权人
变更前 : 欧瑞康表面解决方案股份公司，特吕巴赫
变更后 : 欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士特吕巴赫
变更事项 : 专利权人
变更前 : 欧瑞康表面解决方案股份公司，特吕巴赫
变更后 : 欧瑞康表面解决方案股份公司，普费菲孔
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士特吕巴赫
2021-05-28 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01J 37/32
变更事项 : 专利权人
变更前 : 奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）
变更后 : 欧瑞康表面解决方案股份公司，特吕巴赫
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士特吕巴赫
变更事项 : 专利权人
变更前 : 奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）
变更后 : 欧瑞康表面解决方案股份公司，特吕巴赫
变更事项 : 地址
变更前 : 瑞士特吕巴赫
变更后 : 瑞士特吕巴赫
2013-03-27 ：
授权
2008-05-21 ：
实质审查的生效
2008-03-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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