运行脉冲式电弧源的方法
发明专利申请公布后的驳回
摘要
本发明涉及一种用于沉积绝缘层的电弧方法以及用于低温涂层的电弧方法，其中引起或运行在电弧源的靶表面上的电火花放电，其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电。此外本发明还涉及一种电弧源，其中靶与供电单元连接，该供电单元或者是至少一个第一脉冲式高电流电源18，18’以及另一个电源13’，18”，或者是用开关网络分配技术实施的电源21，21’，22。
基本信息
专利标题 ：
运行脉冲式电弧源的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101263575A
申请号 ：
CN200680009506.2
公开（公告）日 ：
2008-09-10
申请日 ：
2006-03-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
J·拉姆O·格斯托尔B·威德里格D·伦迪
申请人 ：
奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫）
申请人地址 ：
瑞士特吕巴赫
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
卢江
优先权 ：
CN200680009506.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C14/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2014-12-17 ：
发明专利申请公布后的驳回
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101708494621
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2006800095062
申请公布日 : 20080910
号牌文件序号 : 101708494621
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利申请号 : 2006800095062
申请公布日 : 20080910
2008-10-29 ：
实质审查的生效
2008-09-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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