用于减轻离子源供气管路打火的装置与离子源氢气管路
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于减轻离子源供气管路打火的装置与离子源氢气管路，装置包括浮栅电极头及接地极座。浮栅电极头具有开设有气孔的腔壁，腔壁上设置有若干个等高阵列的浮栅电极柱;接地极座具有开设有气孔的接地面，经由管路绝缘壳结合接地极座与浮栅电极头，使浮栅电极柱容纳于由管路绝缘壳、接地面与腔壁构成的腔室中，且浮栅电极柱的悬浮端部与接地极座的接地面之间形成有促使打火的间隙距离，以预先释放掉气体管路中的集聚电荷。本实用新型具有针对离子源设备附加装置防止在后端管路打火放电的效果。
基本信息
专利标题 ：
用于减轻离子源供气管路打火的装置与离子源氢气管路
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922203607.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-09
授权号 ：
CN211128368U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
侯世刚
申请人 ：
中国原子能科学研究院
申请人地址 ：
北京市房山区新镇北坊
代理机构 ：
北京维正专利代理有限公司
代理人 ：
卓凡
优先权 ：
CN201922203607.0
主分类号 ：
H05H7/08
IPC分类号 ：
H05H7/08 H01J27/02
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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