3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构，包括支撑柱、底板、顶板、电机驱动结构和调节结构，电机驱动结构包括顶板、盖板、导向槽、导向块、第一电机和轴承；调节结构包括滑槽、紧固螺栓、滑板、卡板、卡槽和调节柱。可直接将探针卡合在安装孔的内部，通过移动安装板在活动槽内部的位置来调节探针与打磨盘上表面之间的位置，再通过拧紧紧固螺栓将顶板与安装板进行固定，能够提高打磨盘的使用效率；通过第一电机可驱动螺纹柱转动，由于螺纹柱与第一螺纹孔螺纹连接，此时螺纹柱会带动导向块顺着导向槽运动，以此来调整探针与打磨盘之间的距离，适用于不同长度的探针针尖的打磨。
基本信息
专利标题 ：
3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922225471.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-12
授权号 ：
CN211029422U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
刘明星黄海军
申请人 ：
强一半导体（苏州）有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区东长路18号39幢2楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922225471.3
主分类号 ：
B24B19/16
IPC分类号 ：
B24B19/16 B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B19/00
未包括在其他任一大组的特殊磨削加工的专用机床或装置
B24B19/16
用于磨削有尖的工件，如针，笔，鱼钩，镊子或电唱机针
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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