一种基于平面线圈面内检测的微陀螺
授权
摘要

本实用新型公开了一种基于平面线圈面内检测的微陀螺,包括下基板,设置在下基板上的键合框体以及设置在键合框体上的上基板,所述上基板包括:支撑框体、外质量块、内质量块,所述外质量块设置在所述支撑框体内侧,所述内质量块设置在所述外质量块内侧,所述支撑框体内侧的边角处设置有驱动组件与所述外质量块连接,所述外质量块内侧的边角处设置有检测组件与所述内质量块连接,所述内质量块上设置有平面线圈。本实用新型的微机械陀螺仪,其整体结构对称,利用平面线圈切割磁感线产生电动势效应检测微弱柯式力,输出精度高,结构合理、紧凑,且具有灵敏度高、可靠性好的优点。

基本信息
专利标题 :
一种基于平面线圈面内检测的微陀螺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922229178.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-13
授权号 :
CN211085261U
授权日 :
2020-07-24
发明人 :
李孟委郝飞帆张瑞
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市学院路3号
代理机构 :
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
刘莹莹
优先权 :
CN201922229178.4
主分类号 :
G01C19/5656
IPC分类号 :
G01C19/5656  G01C19/5663  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5656
包含微机械结构的装置
法律状态
2020-07-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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