一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置
授权
摘要
一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置,主要结构由键合基板、微陀螺结构、磁阻基板三部分组成,其中键合基板设置于微陀螺结构下方,微陀螺结构上表面中心位置设置有蛇形通电线圈,磁阻基板设置于微陀螺结构上方,其中心设置有隧道磁阻元件,隧道磁阻元件与蛇形通电线圈相对应,通过敏感到蛇形通电线圈产生的正弦磁场变化,自身阻值发生剧烈改变,进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑,创新性的将蛇形通电线圈应用于微陀螺中,此外还采用高灵敏的隧道磁阻元件检测微弱磁场变化,预期可将微陀螺的检测精度提高一至两个数量级,整体结构设计合理,工艺制造简单,可实现性强且容易检测。
基本信息
专利标题 :
一种基于蛇形通电线圈的隧道磁阻微陀螺装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920541160.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-19
授权号 :
CN210570714U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
李孟委张瑞丁希聪秦世洋
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市学院路3号
代理机构 :
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
刘莹莹
优先权 :
CN201920541160.5
主分类号 :
G01C19/5656
IPC分类号 :
G01C19/5656
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5656
包含微机械结构的装置
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载