基于四桥路隧道磁阻元件的面内检测MEMS陀螺装置
授权
摘要

本实用新型属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域,具体涉及基于四桥路隧道磁阻元件的面内检测MEMS陀螺装置。所述面内检测MEMS陀螺装置包括至少一个键合基板、至少一个微陀螺结构、至少一个磁阻基板、及隧道磁阻器件;隧道磁阻器件通过敏感到回折形通电线圈产生的正弦磁场变化,自身阻值发生剧烈改变,进而实现对微陀螺科氏力的检测。此装置整体结构设计合理紧凑,创新性的通过结合相反性能隧道磁阻元件、多路差分电压输出实现对微弱磁场变化高灵敏检测,整体结构设计合理、简单,能够有效的避免外磁干扰,且可以减小由于集成造成的误差。

基本信息
专利标题 :
基于四桥路隧道磁阻元件的面内检测MEMS陀螺装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922245474.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-13
授权号 :
CN211904158U
授权日 :
2020-11-10
发明人 :
张瑞秦世洋李孟委金丽
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 :
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
刘莹莹
优先权 :
CN201922245474.3
主分类号 :
G01C19/5656
IPC分类号 :
G01C19/5656  G01C19/5663  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5656
包含微机械结构的装置
法律状态
2020-11-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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