一种基于电隔离隧道磁阻敏感元件的氢气传感器
授权
摘要
本实用新型实施例公开了一种基于电隔离隧道磁阻敏感元件的氢气传感器，包括：位于X‑Y平面的衬底，位于衬底上的隧道磁阻传感器以及位于隧道磁阻传感器上的氢敏感层，氢敏感层和隧道磁阻传感器之间相互电隔离，氢敏感层包含[钯金属层/铁磁层]n的多层薄膜结构，其中，n为大于或等于1的整数；钯金属层用于吸附空气中的氢气以引起铁磁层的各向异性磁场在X‑Z平面内X轴方向的偏转角的变化，隧道磁阻传感器用于感测氢敏感层的磁场信号并根据该磁场信号确定氢气浓度信息。本实用新型实施例的氢气传感器，保证了测量安全性。
基本信息
专利标题 ：
一种基于电隔离隧道磁阻敏感元件的氢气传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921433477.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-30
授权号 ：
CN210572104U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
詹姆斯·G·迪克周志敏
申请人 ：
江苏多维科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市保税区广东路7号E栋
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN201921433477.3
主分类号 ：
G01N27/74
IPC分类号 ：
G01N27/74 G01R33/09 G01R33/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/626
应用加热电离气体
G01N27/72
通过测试磁变量
G01N27/74
流体的
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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