一种基于电隔离磁阻应力敏感元件的氢气传感器
授权
摘要
本实用新型实施例公开了一种基于电隔离磁阻应力敏感元件的氢气传感器，包括：可变形基板；位于可变形基板上的磁阻应力传感器电桥、覆盖磁阻应力传感器电桥的电隔离层以及位于电隔离层上的磁屏蔽层；位于可变形基板上方的氢敏感层，氢敏感层在可变形基板所在平面的正投影覆盖电隔离层，氢敏感层用于吸附或脱附氢气以发生膨胀或收缩形变并引起可变形基板的应力变化，磁阻应力传感器电桥用于根据可变形基板的应力变化进行氢气浓度测量。本实用新型实施例，提高了氢气传感器的各项性能。
基本信息
专利标题 ：
一种基于电隔离磁阻应力敏感元件的氢气传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921848576.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-30
授权号 ：
CN211043234U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
詹姆斯·G·迪克周志敏
申请人 ：
江苏多维科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市保税区广东路7号E栋
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
孟金喆
优先权 ：
CN201921848576.8
主分类号 ：
G01N27/72
IPC分类号 ：
G01N27/72
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/626
应用加热电离气体
G01N27/72
通过测试磁变量
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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