一种基于隧道磁阻检测的三轴微陀螺装置，由键合基板，驱动组合梳齿，Y轴质量块，X轴质量块；Z轴检测质量块，第一驱动连接组合梁，第二驱动连接组合梁，第三驱动连接组合梁，Z轴检测组合梁组件，支撑锚点组件、检测磁阻组件、检测电极组件组成。本实用新型的有益效果在于，采用隧道磁阻检测方式，解决了现有微机械陀螺检测方向单一，微弱柯氏力难以检测的问题，隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此装置结构设计合理，使用方便，检测精度高,可实现X、Y、Z三轴角速度的检测。当隧道磁阻元件敏感到的磁场发生变化,在微弱的磁场变化下隧道磁阻元件的阻值会发生剧烈变化，该变化可将所微陀螺的检测精度提高一至两个数量级。