一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置
授权
摘要
本实用新型属微惯性导航的技术领域，具体涉及一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置。一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、检测梁、连接块、悬臂梁、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成，在支撑框架上设置敏感质量块、检测组合梁、悬臂梁，在敏感质量块上设置检测磁体，所述敏感质量块、及位于敏感质量块两侧的检测组合梁共同构成矩形体检测结构，所述矩形体检测结构位于三轴加速度计装置整体结构检测方向的轴线方向上，实现高精度的加速度检测。此装置结构对微弱磁场变化具有高灵敏特性，设计合理、简单，易单片集成，适合微型化。
基本信息
专利标题 ：
一种隧道磁阻检测的三轴加速度计装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922236434.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-13
授权号 ：
CN213581020U
授权日 ：
2021-06-29
发明人 ：
张瑞秦世洋李孟委金丽
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 ：
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘莹莹
优先权 ：
CN201922236434.2
主分类号 ：
G01P15/105
IPC分类号 ：
G01P15/105
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/105
采用磁敏装置
法律状态
2021-06-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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