一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺
授权
摘要
一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、正交梁、驱动梁、检测梁、连接块、悬臂梁、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成；在键合基板凹槽上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，隧道磁阻元件设置于键合基板凹槽上并与敏感质量块上方的检测磁体相对应，对微弱磁场变化具有高灵敏特性，此陀螺中X轴陀螺和Y轴陀螺采用离面检测，Z轴陀螺采用面内检测，此陀螺结构设计合理、简单，体积小，集成度高，可靠性好、适合微型化。
基本信息
专利标题 ：
一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922235843.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-13
授权号 ：
CN212585721U
授权日 ：
2021-02-23
发明人 ：
李孟委秦世洋张瑞金丽
申请人 ：
中北大学
申请人地址 ：
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 ：
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
刘莹莹
优先权 ：
CN201922235843.0
主分类号 ：
G01C19/5656
IPC分类号 ：
G01C19/5656 G01C19/5663
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01C
测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪；使用振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置；使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置，例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5656
包含微机械结构的装置
法律状态
2021-02-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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