一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置
授权
摘要

一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置,主要结构由键合基板、支撑框架、驱动组合梁组件、检测组合梁组件、驱动质量块、检测质量块、检测磁体、隧道磁阻元件、压电薄膜驱动电极组件、导线、电极组成。支撑框架放置在键合基板上,通过驱动组合梁组件连接驱动质量块,驱动质量块通过检测组合梁组件连接检测质量块。隧道磁阻元件放置在检测质量块上表面中心与键合基板中心凹槽内沉积的检测磁体相对应。本实用新型采用压电效应驱动,驱动位移大,功耗低;隧道磁阻效应检测,隧道磁阻元件对微弱磁场变化具有高灵敏特性,此装置结构设计合理、简单,使用方便,适合微型化。

基本信息
专利标题 :
一种压电驱动式隧道磁阻面内检测的微陀螺装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922228620.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-13
授权号 :
CN211717457U
授权日 :
2020-10-20
发明人 :
李孟委王旭虎
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市学院路3号
代理机构 :
北京惠智天成知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
刘莹莹
优先权 :
CN201922228620.1
主分类号 :
G01C19/5656
IPC分类号 :
G01C19/5656  G01C19/5663  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01C
测量距离、水准或者方位;勘测;导航;陀螺仪;摄影测量学或视频测量学
G01C19/00
陀螺仪;使用振动部件的转动敏感装置;不带有运动部件的转动敏感装置;使用陀螺效应测量角速率
G01C19/56
使用振动部件的转动敏感装置,例如基于科里奥利力的振动角速度传感器
G01C19/5642
使用振动条或振动梁
G01C19/5656
包含微机械结构的装置
法律状态
2020-10-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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